光刻輔助設(shè)備三件套:涂膠、顯影、固化 供應(yīng)商統(tǒng)計(jì)
半導(dǎo)體體設(shè)備里大家聊得最多的無(wú)疑就是光刻機(jī)了,現(xiàn)在連出租車司機(jī)都知道這個(gè)名詞了...而光刻工藝?yán)锱涮椎耐磕z、顯影、烘烤固化設(shè)備相對(duì)關(guān)注的人就少了很多。不過(guò)前不久北方華創(chuàng)入股沈陽(yáng)芯源消息傳出,好多人也開始關(guān)注和討論涂膠設(shè)備了這個(gè)涂膠設(shè)備的技術(shù)門檻也不低。