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垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,簡稱VCSEL,又譯垂直共振腔面射型激光)是一種半導(dǎo)體,其激光垂直于頂面射出,與一般用切開的獨(dú)立芯片制程,激光由邊緣射出的邊射型激光有所不同。在制作的過程中,VCSEL比邊射型激光多了許多優(yōu)點(diǎn)。邊射型激光需要在制作完成后才可進(jìn)行測試。若一個邊射型激光無法運(yùn)作,不論是因為接觸不良或者是物質(zhì)成長的品質(zhì)不好,都會浪費(fèi)制作過程與物質(zhì)加工的處理時間。然而VCSEL可以在制造的任何過程中,測試其品質(zhì)并且作問題處理,因為VCSEL的激光是垂直于反應(yīng)區(qū)射出,與邊射型激光平行于反應(yīng)區(qū)射出相反,所以可以同時有數(shù)萬個VCSEL在一個三英寸大的砷鎵芯片上被處理。此外,既使VCSEL在制造的過程需要較多的勞動與較精細(xì)的材料,生產(chǎn)結(jié)果是可被控制的及更多可被預(yù)期的。
垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,簡稱VCSEL,又譯垂直共振腔面射型激光)是一種半導(dǎo)體,其激光垂直于頂面射出,與一般用切開的獨(dú)立芯片制程,激光由邊緣射出的邊射型激光有所不同。在制作的過程中,VCSEL比邊射型激光多了許多優(yōu)點(diǎn)。邊射型激光需要在制作完成后才可進(jìn)行測試。若一個邊射型激光無法運(yùn)作,不論是因為接觸不良或者是物質(zhì)成長的品質(zhì)不好,都會浪費(fèi)制作過程與物質(zhì)加工的處理時間。然而VCSEL可以在制造的任何過程中,測試其品質(zhì)并且作問題處理,因為VCSEL的激光是垂直于反應(yīng)區(qū)射出,與邊射型激光平行于反應(yīng)區(qū)射出相反,所以可以同時有數(shù)萬個VCSEL在一個三英寸大的砷鎵芯片上被處理。此外,既使VCSEL在制造的過程需要較多的勞動與較精細(xì)的材料,生產(chǎn)結(jié)果是可被控制的及更多可被預(yù)期的。收起
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