mems

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點資訊討論

微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機械學(xué)的各分支。常

微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機械學(xué)的各分支。常收起

查看更多
  • 村田推出面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸 MEMS 加速度傳感器 SCA3400 系列
    株式會社村田制作所（以下簡稱“村田”）宣布，成功開發(fā)出面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸 MEMS （1）加速度傳感器“SCA3400系列”。該系列產(chǎn)品在長期使用過程中的偏移壽命漂移（2）值控制在 0.5mg（毫伽）以下，在業(yè)內(nèi)處于居先水平（3），具備優(yōu)異的耐久性和長期穩(wěn)定性，適用于橋梁、建筑等結(jié)構(gòu)物的劣化監(jiān)測系統(tǒng)，預(yù)計將于2025年10月開始量產(chǎn)。 注釋 1. MEMS（微機電系統(tǒng)）：一種通過對硅片等材料進(jìn)
    村田推出面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸 MEMS 加速度傳感器 SCA3400 系列
  • 傳感技術(shù)：博世樹立基于藍(lán)牙的胎壓傳感器新標(biāo)桿
    無論是摩托車、卡車、轎車還是巴士，胎壓傳感器在道路交通中的安全與效率方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用：它們有助于延長輪胎壽命、降低油耗，并提升車輛整體安全性。在歐洲、美國和中國等多個地區(qū)，乘用車已被強制要求配備胎壓監(jiān)測系統(tǒng)（TPMS）。博世推出的新款SMP290胎壓傳感器，正是在此背景下應(yīng)運而生。該產(chǎn)品是首款內(nèi)置低功耗藍(lán)牙（BLE）接口的超小型MEMS（微機電系統(tǒng)）胎壓傳感器。 SMP290：集節(jié)能與精準(zhǔn)于一
    傳感技術(shù)：博世樹立基于藍(lán)牙的胎壓傳感器新標(biāo)桿
  • 意法半導(dǎo)體宣布擴(kuò)大在新加坡的“Lab-in-Fab”廠內(nèi)實驗室合作項目
    服務(wù)多重電子應(yīng)用領(lǐng)域、全球排名前列的半導(dǎo)體公司意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics，簡稱ST；紐約證券交易所代碼:STM)日前宣布與新加坡科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME) 和愛發(fā)科 (ULVAC) 合作，共同拓展意法半導(dǎo)體在新加坡的“廠內(nèi)實驗室”(LiF)合作項目。新一期項目包括與新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 以及新加坡國立大學(xué) (N
    意法半導(dǎo)體宣布擴(kuò)大在新加坡的“Lab-in-Fab”廠內(nèi)實驗室合作項目

正在努力加載...