EUV

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點資訊討論

極紫外輻射(EUV)或高能紫外輻射是波長在124nm到10nm之間的電磁輻射,對應(yīng)光子能量為10eV到124eV。自然界中,日冕會產(chǎn)生EUV。人工EUV可由等離子源和同步輻射源得到。主要用途包括光電子譜,對日EUV成像望遠鏡,光微影技術(shù)。 EUV是最易被空氣吸收的譜段,因此其傳輸環(huán)境需高度真空。

極紫外輻射(EUV)或高能紫外輻射是波長在124nm到10nm之間的電磁輻射,對應(yīng)光子能量為10eV到124eV。自然界中,日冕會產(chǎn)生EUV。人工EUV可由等離子源和同步輻射源得到。主要用途包括光電子譜,對日EUV成像望遠鏡,光微影技術(shù)。 EUV是最易被空氣吸收的譜段,因此其傳輸環(huán)境需高度真空。收起

查看更多
  • ASML發(fā)布2025年第一季度財報 | 凈銷售額77億歐元,凈利潤24億歐元
    阿斯麥(ASML)發(fā)布2025年第一季度財報。2025年第一季度,ASML實現(xiàn)凈銷售額77億歐元,毛利率為54%,凈利潤達24億歐元。第一季度的新增訂單金額為39億歐元2,其中12億歐元為EUV光刻機訂單。ASML預(yù)計2025年第二季度凈銷售額在72億至77億歐元之間,毛利率介于50%至53%3;對2025年展望保持不變,預(yù)計全年凈銷售額在300億至350億歐元之間,毛利率介于51%至53%。 (
    ASML發(fā)布2025年第一季度財報 | 凈銷售額77億歐元,凈利潤24億歐元
  • TEL談半導(dǎo)體設(shè)備廠商的增長點
    作為一家已經(jīng)有超過60年歷史的老牌半導(dǎo)體設(shè)備廠商,TOKYO ELECTRON(簡稱TEL)在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的市場地位毋庸置疑,援引2023年的全球市場份額數(shù)據(jù),TEL主打的十大支柱產(chǎn)品中,涂膠顯影設(shè)備的市場占有率為90%(其中配合EUV的涂膠顯影設(shè)備達到100%的市占率),干法刻蝕設(shè)備的占有率為22%,成膜設(shè)備為31%(其中原子層沉積設(shè)備為16%,化學(xué)氣相沉積設(shè)備為40%,氧化擴散設(shè)備為40%)
    TEL談半導(dǎo)體設(shè)備廠商的增長點
  • EUV新局,巨頭們的攻守之道
    如今,人工智能芯片的需求正以指數(shù)級速度瘋漲,可高昂的成本和復(fù)雜的工藝,讓這項技術(shù)淪為少數(shù)公司的 “專屬”。不過,轉(zhuǎn)機或許很快就會出現(xiàn)。為了給五花八門的人工智能應(yīng)用 “撐腰”,對先進制程芯片的渴求一路狂飆,這給整個行業(yè)的供應(yīng)能力帶來了巨大壓力。不管是支撐大型語言模型的超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心,還是智能手機、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備、自主系統(tǒng)里的邊緣人工智能,前沿半導(dǎo)體在各個應(yīng)用場景下的需求都在快速增長。但芯片制造嚴重依賴極紫外光刻(EUV)技術(shù),該技術(shù)卻成為擴大生產(chǎn)規(guī)模的關(guān)鍵阻礙。
    EUV新局,巨頭們的攻守之道
  • 光刻工藝中g(shù)線、i線、DUV、EUV是什么意思?
    不同波長的光源各自對應(yīng)不同的技術(shù)節(jié)點和制造需求。從早期的 g線、i線到目前主流的 KrF、ArF 再到最尖端的 EUV,每一次升級都展現(xiàn)了更高分辨率和更先進的工藝水平。隨著對器件尺寸不斷逼近物理極限,EUV及其后續(xù)升級版本將持續(xù)發(fā)展。
    光刻工藝中g(shù)線、i線、DUV、EUV是什么意思?
  • ASML CEO談半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、EUV、中美技術(shù)差距、AI以及分享工作經(jīng)驗
    Christophe Fouquet,ASML現(xiàn)任CEO,一個極其通透的人,一個優(yōu)秀的技術(shù)公司領(lǐng)袖,一個看穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)律的行業(yè)專家。他說,謙遜是領(lǐng)導(dǎo)力第一要素;他說,當(dāng)你不再為證明自己而戰(zhàn)時,你就獲得了工作上的自由;他說,做決策時要冷靜,你可以根據(jù)自己的呼吸是否還平穩(wěn)來判定自己的情緒;他說現(xiàn)在的人們太聰明,很多人不知道活在當(dāng)下,enjoy your moment。
    ASML CEO談半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、EUV、中美技術(shù)差距、AI以及分享工作經(jīng)驗