晶圓檢測(cè)

• 濃眉大眼的晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備行業(yè)也要紅海血戰(zhàn)了...

  我之前發(fā)布過好幾次晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備的供應(yīng)商整理數(shù)據(jù)。因?yàn)楦骂l繁，還曾開玩笑說以后要周更了。當(dāng)時(shí)說過也沒在意，畢竟這個(gè)行業(yè)門檻很高，一般人不容易進(jìn)來 ...但我還是低估了半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的卷度。

  半導(dǎo)體綜研

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  02/26 12:10

  晶圓檢測(cè)

  
• 如何測(cè)量晶圓表面金屬離子的濃度？

  學(xué)員問：在晶圓清洗后，我們?nèi)绾螠y(cè)量晶圓表面的金屬離子是否洗干凈？金屬離子濃度為什么要嚴(yán)格控制？金屬離子在電場(chǎng)作用下容易發(fā)生遷移。如Li?，Na?、K?等可遷移到柵氧化層，導(dǎo)致閾值電壓下降。

  TOM聊芯片智造

  1539

  2024/11/25

  晶圓檢測(cè)
• 無圖形晶圓的顆粒檢測(cè)原理

  學(xué)員問：在裸晶圓上，顆粒的檢測(cè)是如何實(shí)現(xiàn)的？比較經(jīng)典的顆粒檢測(cè)機(jī)臺(tái)有哪些？顆粒檢測(cè)用什么光源？激光。激光束掃描旋轉(zhuǎn)中的晶圓表面，在無顆粒的光滑表面上，激光束發(fā)生鏡面反射，當(dāng)激光遇到顆粒時(shí)，部分入射光線會(huì)向各個(gè)方向散射。在暗場(chǎng)照明中，散射光可以直接檢測(cè)；在明場(chǎng)照明中，可以通過檢測(cè)鏡面反射光強(qiáng)度的變化來表示。

  TOM聊芯片智造

  1944

  2024/11/20

  晶圓 晶圓檢測(cè)

  

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