射頻電源

• 半導(dǎo)體設(shè)備電源（直流、射頻）供應(yīng)商統(tǒng)計(jì)

  發(fā)布一下半導(dǎo)體設(shè)備零部件的供應(yīng)商統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)吧。這塊領(lǐng)域應(yīng)該是接下來(lái)一兩年里半導(dǎo)體行業(yè)投資的熱門(mén)方向了今天正好更新了一下設(shè)備電源供應(yīng)商的數(shù)據(jù)，就趁熱打鐵地發(fā)布一下吧

  半導(dǎo)體綜研

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  01/22 09:04

  半導(dǎo)體設(shè)備 零部件供應(yīng)商

  
• 射頻電源的頻率對(duì)刻蝕有什么影響？

  學(xué)員問(wèn)：干法刻蝕中，射頻電源的功率與頻率對(duì)刻蝕結(jié)果都有哪些影響？什么是RF的功率與頻率？RF功率（RF Power）,是指射頻電源提供給等離子體系統(tǒng)的能量大小，用于等離子體的產(chǎn)生和穩(wěn)定,通常以瓦特（W）為單位。RF頻率（RF Frequency）,是指射頻電場(chǎng)的振蕩頻率，通常以赫茲（Hz）為單位。

  TOM聊芯片智造

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  2024/12/16

  刻蝕工藝 射頻電源
• 射頻電源的頻率與等離子體能量，密度的關(guān)系？

  學(xué)員問(wèn)：等離子刻蝕機(jī)臺(tái)的頻率有13.56MHz，2.45GHz等，頻率的大小的不同會(huì)對(duì)造成什么影響？該怎么選用。射頻電源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蝕、去膠、PVD、干法清洗等設(shè)備中，起到激發(fā)等 離子體、選擇刻蝕方向等作用。

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  2024/07/01

  射頻電源 等離子體

  
• 電子管射頻電源

  電子管射頻電源是射頻系統(tǒng)中重要的組成部分，它能夠?qū)⒅绷骰虻皖l交流電轉(zhuǎn)換為高頻射頻信號(hào)，并提供給射頻設(shè)備進(jìn)行通信、雷達(dá)、醫(yī)療成像等應(yīng)用。本文將介紹電子管射頻電源的基本原理、工作模式和應(yīng)用領(lǐng)域。

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  06/25 08:22

  射頻電源
• 全固態(tài)射頻電源

  全固態(tài)射頻電源代表了射頻能量技術(shù)的最新發(fā)展成果，它采用半導(dǎo)體功率器件替代傳統(tǒng)電子管，實(shí)現(xiàn)了射頻能量的固態(tài)化轉(zhuǎn)換與控制。這種基于MOSFET或IGBT等固態(tài)開(kāi)關(guān)器件的射頻電源系統(tǒng)，通過(guò)高頻開(kāi)關(guān)技術(shù)和數(shù)字控制算法的完美結(jié)合，提供了更為精確、可靠且高效的射頻能量輸出。

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  06/20 07:36

  射頻電源
• 射頻電源頻率如何影響等離子體密度

  在等離子體物理學(xué)中，射頻（RF）電源是產(chǎn)生和維持等離子體的關(guān)鍵裝置之一。射頻電源頻率作為其中一個(gè)重要參數(shù)，對(duì)等離子體的密度產(chǎn)生著顯著影響。本文將深入探討射頻電源頻率如何影響等離子體密度的機(jī)制及相關(guān)因素。

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  06/20 07:46

  射頻電源
• 淺析射頻電源的頻率對(duì)刻蝕的影響與解決方案

  射頻（Radio Frequency, RF）電源在半導(dǎo)體工業(yè)中被廣泛應(yīng)用于等離子體刻蝕過(guò)程，以實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)且高效的圖形加工。然而，射頻電源的頻率會(huì)直接影響到等離子體刻蝕的質(zhì)量和效率。本文將探討射頻電源頻率對(duì)刻蝕的影響，以及可能的解決方案。

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  06/03 07:26

  射頻電源
• 射頻電源的結(jié)構(gòu)及應(yīng)用領(lǐng)域

  射頻（Radio Frequency，RF）電源是指在無(wú)線(xiàn)電頻率范圍內(nèi)工作并提供射頻功率輸出的電源設(shè)備。它在通信、醫(yī)療、科學(xué)研究和工業(yè)制造都有廣泛的應(yīng)用。

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  2787

  2024/12/17

  射頻 射頻電源

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