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在圖像傳感器中,為什么不同波長的光在硅材料中的吸收深度差異較大?

06/12 14:53
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圖像傳感器中,硅材料對光的吸收深度與光波長的關系可以從光子能量與物質相互作用的物理機制來解釋,具體原因如下:

一、光的波動性與粒子性:光子能量的差異

光具有波粒二象性,其能量公式為:E = hc/λ

其中:E 為光子能量,h 為普朗克常數(shù),c 為光速,λ為光的波長。

波長越短(如藍光、紫外光):光子能量 E 越高;

波長越長(如紅光、近紅外光):光子能量 E 越低。

二、硅的能帶結構與光吸收機制

硅是半導體材料,其價帶和導帶之間存在禁帶寬度(約為 1.12 eV)。當光子入射硅材料時,只有能量 E >=禁帶寬度的光子才能被吸收,激發(fā)價帶電子到導帶,產(chǎn)生光生載流子(電子 - 空穴對)。

光在硅中的吸收過程遵循朗伯 - 比爾定律(Lambert-Beer Law),其吸收強度隨深度的衰減公式為:

I(x) 為深度 x 處的光強,I0 為表面入射光強,α為吸收系數(shù),x 為硅材料中的深度。

吸收系數(shù)α與光子能量(或波長)直接相關:

高能量光子(短波長):

能量遠大于禁帶寬度,與硅原子的相互作用更劇烈,光子更容易在硅表面附近被吸收,吸收系數(shù)α大,對應的吸收深度淺(多數(shù)吸收發(fā)生在表面附近的淺層區(qū)域)。

低能量光子(長波長):

能量接近禁帶寬度,與硅原子的相互作用較弱,光子需要穿透更深的硅層才能被吸收,吸收系數(shù)?α?小,對應的吸收深度深(可穿透到硅材料內(nèi)部較深區(qū)域)。

“吸收深度”?可以簡單理解為:光在材料(如硅)中傳播時,能量被吸收掉約 63%(即衰減到入射光強的 1/e,e 為自然常數(shù)≈2.718)時所經(jīng)過的距離。吸收深度通常定義為吸收系數(shù)的倒數(shù)(1/α),即當 x = 1/α) 時,光強衰減到初始值的約 37%。

三、直觀類比:不同能量光子的 “穿透能力”

短波長光(如藍光):

類似 “高能子彈”,能量高但穿透能力弱,入射后迅速與硅原子碰撞并釋放能量,主要在表面淺層被吸收。

長波長光(如紅光):

類似 “低能粒子”,能量低但穿透能力強,可在硅中傳播更遠距離,直到能量耗盡才被吸收。

四、對圖像傳感器的影響

光譜響應特性:

硅基圖像傳感器(如 CMOS、CCD)對不同波長光的吸收深度差異,導致其光譜靈敏度不均勻:

短波長光(藍光)主要被硅表面的 PN 結附近吸收,

長波長光(紅光、近紅外光)可穿透到硅襯底深處被吸收。

像素結構設計:

為優(yōu)化短波長光的吸收,需在像素表面(如淺溝槽隔離區(qū)域)設計光陷阱或減反射層,

為增強長波長光的吸收,需增加硅層厚度(如背照式結構)或采用紅外濾光片分離信號。

串擾與噪聲:

長波長光的深吸收可能導致光生載流子在擴散過程中被相鄰像素收集,產(chǎn)生串擾;而短波長光的淺吸收則更易受表面缺陷影響,產(chǎn)生噪聲。

五、總結:波長與吸收深度的關系本質

這一特性是硅材料的固有物理屬性,也是圖像傳感器設計中優(yōu)化光譜響應、提升成像質量的關鍵依據(jù)。

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目前就就職于Foundry大廠工藝整合工程師,每天堅持更新行業(yè)知識和半導體新聞動態(tài),歡迎溝通交流,與非網(wǎng)資深PIE。歡迎關注微信公眾號:國芯制造

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