芯耀
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在工業(yè)4.0的浪潮中，協(xié)作機器人正以驚人的靈活性重塑生產(chǎn)線——它們與工人并肩作業(yè)，精準搬運零件，完成精密裝配。還能協(xié)同醫(yī)生完成手術(shù)，甚至制作咖啡。
標準的協(xié)作機器人關(guān)節(jié)模組由角度編碼器、直驅(qū)電機(DD馬達)、驅(qū)動器、諧波減速機、剎車、扭矩傳感器等元器件組成，DD馬達摒棄了傳統(tǒng)減速機構(gòu)，將負載與電機轉(zhuǎn)子直接耦合，成就了協(xié)作機器人流暢的關(guān)節(jié)運動。但這一革命性設(shè)計
也帶來了嚴苛的精度挑戰(zhàn)：任何微小的角度偏差都被直接放大為末端執(zhí)行器的軌跡誤差！
當協(xié)作機器人需要執(zhí)行微米級的精密任務(wù)時，一個隱形挑戰(zhàn)浮出水面：如何確保其核心動力單元DD馬達的旋轉(zhuǎn)精度達到角秒級？答案藏在一束激光的干涉條紋之中。
中圖儀器解決方案：SJ6000激光干涉儀+角度反射鏡組+WR50自動精密轉(zhuǎn)臺，測量精度：±1″；分辨力：0.01″。
測量流程：
將WR50自動精密轉(zhuǎn)臺固定在馬達軸心，其頂部反設(shè)鏡可相對基座反向旋轉(zhuǎn)，反射鏡始終與激光束角度鎖定在0.5度內(nèi)，轉(zhuǎn)臺每旋轉(zhuǎn)5°，反射鏡即反向旋轉(zhuǎn)5°，此時軟件將WR50的精密圓光柵角度值和SJ6000的角度值進行合并計算，得出馬達實際轉(zhuǎn)動的角度。
激光干涉儀測量結(jié)束后自動進行補償，確保DD馬達旋轉(zhuǎn)精度符合要求。
補償前數(shù)據(jù)
補償后數(shù)據(jù)
從汽車工廠的裝配線到無塵室里的芯片制造，協(xié)作機器人正以人類般的靈巧重塑產(chǎn)業(yè)。而在這背后，是以激光干涉儀為代表的精密測量儀器的默默守護，為協(xié)作機器人的安全高效精準運行保駕護航。
