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半導體天車中RFID產品的使用方法

2024/09/06
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半導體天車中RFID產品的使用方法

應用背景

半導體天車,全稱為“空中懸掛式無人搬送車,是一種能在空中軌道上行駛的自動化搬運設備,是半導體制造過程中不可或缺的一部分。將RFID技術應用在半導體天車上,通過RFID技術的快速精準、非接觸式、穿透性識別功能,在確保晶圓安全的同時,還能提高整個半導體晶圓的運輸效率。

應用方案

RFID在半導體天車上的應用主要體現(xiàn)在自動化搬運、實時位置監(jiān)測、信息讀取與上傳以及安全控制等方面;

晶圓盒信息讀取與上傳

晶圓盒信息讀?。?/p>

FOUP晶圓盒上安裝的TI載碼體標簽(或TI玻璃管標簽)記錄了晶圓芯片的所有信息,如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等。當天車搬運FOUP晶圓盒時,半導體RFID讀寫器會讀取這些信息,確保所搬運的晶圓盒準確無誤。

信息上傳:

在搬運過程中,RFID讀寫器會將讀取到的信息實時上傳到管理系統(tǒng)。這樣,管理人員可以實時掌握晶圓盒的搬運情況,并在必要時進行干預或調整。

天車實時位置監(jiān)測與調度

產品溯源:

當產品出現(xiàn)瑕疵等不良品時,可以通過RFID技術記錄上傳數(shù)據快速定位到問題點上,進行產品溯源。

產品介紹

CK-S650系列RFID讀寫器是專為半導體制造業(yè)而研發(fā)生產的RFID讀寫器設備。該讀卡器符合SEMI標準,支持標準工業(yè)半導體SECS協(xié)議和 Modbus協(xié)議,同時還支持1和N協(xié)議,方便用戶應用到半導體加工控制器或PLC等系統(tǒng)中。設備外置了三個模式開關選擇器,方便用戶直接設置工作模式、通信速率以及設備地址。讀卡器內部集成了射頻部分通信協(xié)議,用戶只需通過串口通信接口或者以太網通信接口發(fā)送接收數(shù)據便可完成標簽的讀取操作,無需理解復雜的射頻通信協(xié)議。

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