芯耀
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知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問：TGV和TSV有哪些差異？在什么情況下更適合用TGV，什么情況下更適合用TSV？
什么是TSV，TGV？
見之前的文章：TSV工藝流程介紹；玻璃通孔（TGV）工藝流程
TSV與TGV有什么差異？?
| TGV（Through Glass Via） |
TSV（Through Silicon Via） |
|
| 材料 | 玻璃 | 硅 |
| 絕緣性能 | 玻璃具有良好的絕緣性能，不需要額外的絕緣層 | 硅是半導(dǎo)體材料，需要在孔壁上沉積絕緣層（如二氧化硅）以防止電流泄漏 |
| 熱膨脹系數(shù) | 玻璃的CTE較低且與大多數(shù)半導(dǎo)體材料匹配較好 | 硅的CTE與大多數(shù)半導(dǎo)體材料匹配較好 |
| 加工難度 | 玻璃的加工難度較大，需要使用激光打孔，最后需要銅電鍍填孔 | 硅的加工相對(duì)容易，現(xiàn)有的硅蝕刻技術(shù)成熟，成本較低，最后需要銅電鍍填孔 |
| 導(dǎo)電性 | 玻璃是絕緣體，信號(hào)傳輸損耗較小 | 硅基材料的電阻較低，有利于信號(hào)傳輸和功率分布 |
| 導(dǎo)熱性 | 玻璃的導(dǎo)熱性較差，不利于熱量的散發(fā) | 硅具有良好的導(dǎo)熱性，有助于熱量的散發(fā) |
TGV與TSV應(yīng)用的芯片產(chǎn)品的差異？
由于玻璃的絕緣特性，TGV在高頻信號(hào)傳輸中損耗較小，擊穿電壓高，適合高頻應(yīng)用，如在光電子，射頻，MEMS較常見。而TSV則適用于邏輯芯片，存儲(chǔ)芯片，電源管理芯片等產(chǎn)品中。雖然有些區(qū)別，但最終的目的都是為了實(shí)現(xiàn)垂直互聯(lián)。
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