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半導體線寬、套刻精度量測設備供應商列表

2024/06/20
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半導體設備里,除了人盡皆知的光刻機,大家討論最多的設備恐怕就是測量與檢測設備了(Metrology and Inspection)這類設備的技術門檻非常高,有些種類甚至有小光刻機之稱,而且市場空間和利潤都十分可觀,所以目前半導體行業(yè)的投資人對這個領域也非常感興趣正好,和我合作的“復創(chuàng)芯”計劃在7月份有一個相關的行業(yè)大會。

具體信息參考以下鏈接:

2024 中國檢測技術與半導體應用大會 ---暨半導體分析檢測儀器與設備發(fā)展論壇

所以,我也趁這個熱度,整理一下全球的相關設備供應商數據。這次先列一下目前收集到的線寬(CD)量測和套刻精度量(Overlay)測設備的供應商數據在CD量測設備中,OCD是光學(Optical)量測,CD-SEM是電子束量測以下收集到的公司中,有些公司的產品還處于研發(fā)階段;有些目前還沒有公開的,我就暫時不放到表格里了
麻煩大家在參考的同時,也幫忙確認一下,看看有沒有問題。謝謝了

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