国产午夜人成视频在线观看 ,91精品国产高清在线观看,国内精品自线在拍精品

ALD 是一種精確的薄膜沉積技術(shù)，其核心原理是利用化學(xué)反應(yīng)的“自限性”，以原子或分子層為單位逐層生長(zhǎng)薄膜。具體過(guò)程包括：前體吸附：將化學(xué)前體（Precursor）引入反應(yīng)室，前體分子在襯底表面發(fā)生吸附，形成單分子層。

老虎說(shuō)芯

5265

01/15 08:45

ALD ALD技術(shù)

ALD,ALE與傳統(tǒng)技術(shù)相比的優(yōu)勢(shì)？

學(xué)員問(wèn)：ALD（原子層沉積），ALE（原子層刻蝕）與傳統(tǒng)的沉積，刻蝕技術(shù)相比，有什么優(yōu)勢(shì)？如上圖，先說(shuō)第一行，第一行是傳統(tǒng)鍍膜與ALD效果的對(duì)比，傳統(tǒng)薄膜沉積方法如 PECVD 或 PVD等，在高深寬比結(jié)構(gòu)中，由于氣體進(jìn)出受到了物理限制，側(cè)壁和底部區(qū)域的沉積速率不同。

TOM聊芯片智造

2671

2024/12/20

ALD ALD技術(shù)

一項(xiàng)多尺度模擬技術(shù)，打通ALD的材料—過(guò)程—裝備？

今天我們對(duì)話的這位專家是來(lái)自華東理工大學(xué)化工學(xué)院的莊黎偉教授，他在原子層沉積工藝中進(jìn)行了非常多的探索，今天我們就請(qǐng)莊教授和我們一起來(lái)聊聊他所從事的事情，請(qǐng)莊教授和大家打個(gè)招呼。

芯片揭秘

3536

2024/04/01

ALD ALD技術(shù)

一項(xiàng)多尺度模擬技術(shù)，打通ALD的材料—過(guò)程—裝備？

微導(dǎo)納米黎微明：讓ALD技術(shù)充分發(fā)揮前瞻性和共性技術(shù)的作用

10月13-14日，由張江高科、芯謀研究聯(lián)合主辦的第九屆張江高科·芯謀研究集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)袖峰會(huì)在上海浦東張江召開(kāi)，微導(dǎo)納米CTO黎微明博士在次日舉辦的設(shè)備材料分論壇中以《ALD技術(shù)在先進(jìn)半導(dǎo)體芯片的應(yīng)用及國(guó)產(chǎn)化展望》為主題發(fā)表演講。

芯謀研究

1847

2023/11/05

ALD技術(shù) 先進(jìn)芯片