芯片制造為什么需要StartOxide
在芯片制造過程中,“Start Oxide”(通常稱為初始氧化層或起始氧化層)是一道基礎(chǔ)且關(guān)鍵的工藝步驟,其核心作用是為后續(xù)制造流程提供物理保護(hù)、絕緣隔離和工藝支撐。以下從技術(shù)原理和實(shí)際應(yīng)用角度詳細(xì)解析其必要性: 一、Start Oxide 的定義與制備方式 定義: 初始氧化層是在硅片(襯底)清洗后,通過熱氧化工藝(如干氧氧化、濕氧氧化或水汽氧化)在硅表面形成的一層薄二氧化硅(SiO?),厚度通常