芯片制造

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  • 100個關(guān)于芯片制造的關(guān)鍵知識點
    一、芯片制造基礎(chǔ)與材料 晶圓(Wafer):單晶硅切片,常用尺寸為?8?英寸?/ 12?英寸,晶體取向(如<100>、<111>)影響器件性能。 襯底材料:除硅外,包括化合物半導體(GaAs、SiC、GaN)、絕緣體上硅(SOI)等。 光刻膠(Photoresist):分正性?/?負性,對光敏感,曝光后化學性質(zhì)改變,用于定義圖案。 掩膜版(Mask/Reticle):石英玻
    100個關(guān)于芯片制造的關(guān)鍵知識點
  • 芯片制造為什么需要StartOxide
    在芯片制造過程中,“Start Oxide”(通常稱為初始氧化層或起始氧化層)是一道基礎(chǔ)且關(guān)鍵的工藝步驟,其核心作用是為后續(xù)制造流程提供物理保護、絕緣隔離和工藝支撐。以下從技術(shù)原理和實際應(yīng)用角度詳細解析其必要性: 一、Start Oxide 的定義與制備方式 定義: 初始氧化層是在硅片(襯底)清洗后,通過熱氧化工藝(如干氧氧化、濕氧氧化或水汽氧化)在硅表面形成的一層薄二氧化硅(SiO?),厚度通常
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  • 芯片制造為什么需要StartOxide?
    在芯片制造過程中,“Start Oxide”(通常稱為初始氧化層或起始氧化層)是一道基礎(chǔ)且關(guān)鍵的工藝步驟,其核心作用是為后續(xù)制造流程提供物理保護、絕緣隔離和工藝支撐。以下從技術(shù)原理和實際應(yīng)用角度詳細解析其必要性:
    芯片制造為什么需要StartOxide?
  • 一文了解薄膜制備(MOCVD 磁控濺射 PECVD)技術(shù)
    這一篇將會介紹幾種薄膜制備方法,在半導體加工工藝中,被提及最多就是光刻和刻蝕,其次就是外延(薄膜)工藝了。為什么芯片制造需要薄膜工藝呢?
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  • 芯片制造突破應(yīng)歸功于晶圓廠
    近年來,境內(nèi)晶圓廠制造工藝上頻頻取得突破,一步一個腳印,著實不容易。