光柵位移傳感器的工作原理
光柵尺位移傳感器是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置,其工作原理是一對(duì)光柵副中的主光柵和副光柵進(jìn)行相對(duì)位移時(shí),在光的干涉與衍射共同作用下產(chǎn)生黑白相間的規(guī)則條紋圖形,經(jīng)過(guò)光電器件轉(zhuǎn)換使黑白相同的條紋轉(zhuǎn)換成正弦波變化的電信號(hào),再經(jīng)過(guò)放大器放大,整形電路整形后,得到兩路相差為90°的正弦波或方波,送入光柵數(shù)顯表計(jì)數(shù)顯示。