芯耀
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CINNO Research產(chǎn)業(yè)資訊，日本JSR收購(gòu)了次世代EUV光刻膠初創(chuàng)企業(yè)美國(guó)inpria。通過(guò)此次收購(gòu)， JSR擴(kuò)大了EUV 光刻膠布局。隨著半導(dǎo)體精細(xì)制程需求而增長(zhǎng)的EUV光刻膠市場(chǎng)上，JSR的地位有望進(jìn)一 步加強(qiáng)。
根據(jù)韓媒etnews 報(bào)道，JSR宣布收購(gòu) inpria 79%的股份。JSR在2017年獲得了inpria 21%的股份，通過(guò) 此次追加投資完成了inpria 的100%股份持有。收購(gòu)工作將于10月底結(jié)束。inpria的市值為5.14億美 元。
inpria是開發(fā)半導(dǎo)體曝光制程中使用的PR的初創(chuàng)公司?？梢援嫵龀?xì)電路pattern的EUV需要與傳統(tǒng)制程不一樣的專用光刻膠。因其技術(shù)難度高，一直被日本 JSR、TOK、信越等獨(dú)家生產(chǎn)。
inpria開發(fā)出了比現(xiàn)有的有機(jī)物基礎(chǔ)EUV 光刻膠光吸收率更高的無(wú)機(jī)物基礎(chǔ)光刻膠，因此在業(yè)界備受關(guān) 注。三星電子、SK 海力士、TSMC等企業(yè)均對(duì)inpria進(jìn)行過(guò)投資。
通過(guò)此次收購(gòu)，JSR在EUV光刻膠市場(chǎng)上的影響力將進(jìn)一步加強(qiáng)。隨著JSR將產(chǎn)品領(lǐng)域從有機(jī)物光刻膠擴(kuò) 大到無(wú)機(jī)物光刻膠，可以應(yīng)對(duì)新一代EUV 光刻膠市場(chǎng)。JSR表示:“，JSR聯(lián)手inpria將穩(wěn)固和加強(qiáng)了作為 業(yè)界最尖端曝光制程領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者和合作伙伴的地位。收購(gòu)決定與 JSR對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長(zhǎng)期戰(zhàn)略和經(jīng)營(yíng)方針 一致。”
