知識星球(星球名:芯片制造與封測技術(shù)社區(qū),點擊加入)里的學員問:在12吋/8吋 fab中,是嚴禁使用乙醇酒精做主清洗劑的,為什么?
IPA在晶圓廠中的應用?IPA是異丙醇,主要用于晶圓清洗,刻蝕,設備裝機,PM等。幾乎出現(xiàn)在晶圓廠各個區(qū)域中。
異丙醇與酒精的性質(zhì)對比?
項目 | IPA(異丙醇) | 乙醇(Ethanol) |
---|---|---|
化學式 | C?H?O | C?H?O |
極性 | 中等極性 | 極性較強 |
沸點 | 82.6°C | 78.4°C |
溶解性 | 與水、醇、酮類完全互溶 | 同樣與水、醇類互溶 |
氣味 | 刺鼻 | 相對溫和 |
揮發(fā)速度 | 稍慢于乙醇 | 稍快于IPA |
吸水性 | 強 | 更強 |
干燥性(殘留水能力) | 更容易置換水分 | 殘留水更多、干燥性差一些 |
為什么用IPA不用酒精?
1,SEMI G5 級 IPA 的純度水平通常超過 99.9999%(六個九的純度),而乙醇幾乎無法從共沸物中提取完全無水狀態(tài),常為“分析純/試劑級”,天生難達晶圓級的超凈標準。
2,IPA揮發(fā)速度適中,能在表面均勻蒸發(fā),不易形成“干斑”或水痕;與 DI水形成 azeotrope(共沸物),適合 Marangoni 干燥。
3,IPA的極性比乙醇略低,與有機溶劑(NMP,ACE等)、光刻膠殘留等相容性更好。
那酒精真的不能用嗎?并非絕對不能用,但通常在以下情況中才會用到:低端或?qū)嶒炗貌A骶咔逑矗?/strong>
實驗室級封裝前初步擦拭;
PCB行業(yè);
需要臨時清洗但不要求電子級純度的情況。
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