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生產晶圓(PW)和非生產晶圓(NPW)的區(qū)別和聯系

2024/11/25
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1. 生產晶圓(PW)

生產晶圓是直接參與產品制造的晶圓。它們用于最終生產和銷售的產品,有兩類:

量產晶圓(Productive Wafer):這些晶圓是量產產品的基礎,最終會被加工、測試并賣給客戶,通常是標準產品。

工程晶圓(Engineer Wafer):它們用于試產,可能是在新工藝或者新產品的開發(fā)階段。這類晶圓用于驗證新設計、工藝參數調整或者是小規(guī)模的實驗生產,測試結果直接影響到后續(xù)量產。

2. 非生產晶圓(NPW)

非生產晶圓則不直接參與最終產品的生產,它們主要用于廠內的監(jiān)控、測試和設備優(yōu)化,具體包括:

控擋片(Monitor Wafer):它們的主要任務是監(jiān)控設備狀態(tài),比如刻蝕速率或薄膜均勻度??梢岳斫鉃椤敖】当O(jiān)測儀器”,通過對機臺狀態(tài)的監(jiān)測,確保設備保持最佳性能。

暖機片(Season Wafer):它們用于設備的預熱或冷卻,幫助設備穩(wěn)定運行。例如,機臺長時間空閑后,可能需要用暖機片進行加熱,以確保在運行時的穩(wěn)定性。

填充片(Dummy Wafer):這些晶圓并不進行實際的產品加工,而是用于設備中填充空缺,確保設備在運行時不會出現空缺影響。例如,在爐管或刻蝕過程中,由于設備的操作特性,可能需要填充片來保持工藝的穩(wěn)定性。

總結來說,PW是與產品制造緊密相關的晶圓,而NPW則更多地用于保障生產過程的順暢,確保設備和工藝的穩(wěn)定性。兩者的主要區(qū)別在于是否直接參與產品的最終加工和銷售。

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