超聲波掃描顯微鏡SAM有什么作用？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：在晶圓廠中很少見到超聲波掃描顯微鏡，但是在封測廠中會經常用到，麻煩講一下超聲波掃描顯微鏡的原理與用途

什么是超聲波掃描顯微鏡？

超聲波掃描顯微鏡，英文名scanning acoustic microscope，?？s寫為SAM。是一種利用超聲波進行的非破壞性檢測的顯微鏡。SAM以水為介質，傳輸超聲波，當超聲波遇到不同密度的界面（如空隙、裂紋或分層），反射回來的超聲波信號，會被轉換回電信號，經過處理后形成材料內部的聲學圖像。

超聲波掃描顯微鏡的用途？

在封裝結束后，芯片被環(huán)氧樹脂牢牢包裹。為了快速，無損，經濟地找到失效原因，即可考慮使用SAM。超聲波能夠穿透大多數(shù)的材質，無需破壞材料，即可直接獲得封裝后的芯片內部信息。

SAM可以用來檢測芯片封裝中的空隙、裂紋、氣泡，夾雜或分層等缺陷，確保封裝質量。也可以用于芯片的晶圓鍵合和金線鍵合的質量。

超聲波掃描顯微鏡的缺點？

1，需要液體介質傳輸超聲波。因此，在使用SAM時，需要將樣品浸沒在水中。

2，難以檢測表面粗糙或內部含有大量氣泡的樣品。粗糙的表面會散射超聲波，使其無法均勻進入樣品內部，導致成像效果不佳；而大量氣泡也會導致超聲波的反射、散射，使超聲波無法順利傳輸，嚴重影響成像的質量和深度。

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