晶圓廠中dummy片,測試片,真片的區(qū)別是什么？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：看資料有了解到晶圓廠中有dummy wafer，test wafer，真片的叫法，這幾種片子各自有什么作用嗎？

dummy wafer

dummy的英文直譯為“假的，仿真的”，dummy wafer也可以叫做假片。一般是沒有圖形，或只有若干層圖形，主要的應用場景：

1，用于半導體設備的調試和校準，確保設備在正式生產前處于最佳狀態(tài)。

2，在引入新工藝或調整現(xiàn)有工藝時，使用dummy片進行測試和優(yōu)化，減少對量產片造成的風險。

test?wafer

測試片（工程片）具有完整的工藝流程，包含了各種圖形和結構的晶圓。

主要作用：

1，在新的芯片產品導入過程中，使用測試片驗證和優(yōu)化新產品的制造工藝，最終實現(xiàn)量產。

2，當產線上的量產晶圓出現(xiàn)工藝問題時，做相應的DOE試驗以改善工藝。

量產晶圓

量產晶圓用于生產需要給客戶出貨的半導體器件等，量產晶圓在生產過程中進行嚴格的質量控制，確保產品符合客戶要求能要求。

Dummy片（Dummy Wafer）： Dummy片通常是由類似晶圓的材料制成，但并不具有電路元件。它們主要用作充填或填充工藝上的支撐或協(xié)助，以幫助維持生產設備的平衡和穩(wěn)定性。

測試片（Test Wafer）： 測試片是用于測試生產過程中設備性能和產品質量的樣品，通常包含一些標準測試結構或器件。測試片用于驗證設備運行情況、檢查生產工藝以及確保產品符合規(guī)格要求。

真片（Production Wafer）： 真片是指用于批量生產芯片或其他電子器件的正式晶圓。這些真片上包含著完整的電路設計和結構，經過加工后成為最終的產品。

為什么要分這幾類晶圓？

主要是從成本與重要性考慮。成本/重要性：量產晶圓>test wafer>dummy wafer.量產晶圓是要出貨給客戶，是整個公司的經濟命脈，因此要保證量產晶圓高質高量地完成生產任務。工藝參數(shù)，工藝流程相對比較固定。任何改動都要確保100%的安全性。因此衍生出了一些成本較低，靈活性較強的dummy wafer，ENG wafer以避免對量產晶圓的浪費！

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