以鍺硅(GeSi)光子技術(shù)為核心技術(shù)的光程研創(chuàng)宣布,全球首創(chuàng)基于12吋的CMOS制程,結(jié)合鍺硅短波紅外線(Shortwave Infrared, SWIR)的雙模(2D/3D)感測(cè)單晶片,已驗(yàn)證完成并于臺(tái)積電導(dǎo)入量產(chǎn)。此一里程碑為光程研創(chuàng)創(chuàng)下3項(xiàng)世界第一紀(jì)錄,分別是高解析度鍺硅像素技術(shù)、單晶片SWIR雙模(2D/3D)光學(xué)系統(tǒng)感知技術(shù),以及用12吋晶圓量產(chǎn)SWIR感測(cè)元件。透過(guò)光程研創(chuàng)的SWIR 3D感知技術(shù),可望加速推動(dòng)光達(dá)應(yīng)用全面普及化。
紅外線感測(cè)已普遍應(yīng)用在行動(dòng)裝置、智慧穿戴、智慧家電、環(huán)境偵測(cè)等應(yīng)用,擁有優(yōu)異穿透掃描能力的SWIR感測(cè),成長(zhǎng)動(dòng)能更是強(qiáng)勁。不過(guò),目前市場(chǎng)上的SWIR技術(shù),都只能做到2D成像,且因?yàn)橐玫缴榛?GaAs)或磷化銦(InP)基板,以及其他三五族化合物半導(dǎo)體的單元感測(cè)器,使得要實(shí)現(xiàn)高解析度成像陣列的成本十分昂貴,亦無(wú)法與CMOS先進(jìn)的電子電路進(jìn)行單晶片整合。
也因?yàn)檫@些技術(shù)限制,目前市場(chǎng)上還沒(méi)有使用SWIR波段的高畫(huà)質(zhì)3D影像感測(cè)元件。光程研創(chuàng)基于CMOS製程的鍺硅技術(shù),在逐一克服各項(xiàng)如先進(jìn)材料導(dǎo)入、革新光子及整合光學(xué)技術(shù)、晶片系統(tǒng)架構(gòu)及演算法等挑戰(zhàn),已能在SWIR波段實(shí)現(xiàn)更為精細(xì)的2D與3D成像及辨識(shí)效果,同時(shí)滿足業(yè)界對(duì)微小化、低功耗、安全性(無(wú)鉛)、高整合度、具成本競(jìng)爭(zhēng)力進(jìn)行大規(guī)模量產(chǎn)的期待。
光程研創(chuàng)執(zhí)行長(zhǎng)陳書(shū)履表示,該公司致力將最先進(jìn)的光子技術(shù)商業(yè)化,以期更緊密地與人類(lèi)生活應(yīng)用連結(jié)。本公司團(tuán)隊(duì)這次以全球首創(chuàng)CMOS製程的SWIR雙模感知技術(shù),再度寫(xiě)下光學(xué)成像嶄新的里程碑。未來(lái)將持續(xù)以扎實(shí)的創(chuàng)新技術(shù)實(shí)力加速光學(xué)感測(cè)等多元應(yīng)用,期望引領(lǐng)新一波SWIR產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈的蓬勃發(fā)展。
這項(xiàng)突破也讓光程研創(chuàng)有能力克服SWIR應(yīng)用普及的三大障礙,包括以高解析GeSi鍺硅像素技術(shù)解決硅材料只能應(yīng)用較窄波段,及量子感光效率在不可見(jiàn)光波段低落的問(wèn)題;單晶片SWIR雙模(2D/3D)感知技術(shù)則解決無(wú)法以單晶片同時(shí)在SWIR波段呈現(xiàn)2D和3D成像的問(wèn)題;用12吋晶圓量產(chǎn)SWIR感測(cè)元件,則解決了SWIR成像像素只能在6吋以下晶圓產(chǎn)線製造,且無(wú)法和CMOS製程電子電路整合成單一晶片的問(wèn)題。
總括來(lái)說(shuō),光程研創(chuàng)獨(dú)創(chuàng)的SWIR雙模感知技術(shù),將可加快SWIR在各種產(chǎn)業(yè)情境應(yīng)用的普及速度,例如擴(kuò)增實(shí)境(AR)、機(jī)器視覺(jué)或半導(dǎo)體製程檢測(cè)、工業(yè)品質(zhì)管控、農(nóng)產(chǎn)品新鮮度判定、醫(yī)療成分異物分析、環(huán)境系統(tǒng)監(jiān)控、駕駛?cè)吮O(jiān)測(cè)系統(tǒng)(Driver Monitoring System, DMS)等,其中尤以自駕車(chē)市場(chǎng)的光達(dá)(LiDAR)應(yīng)用近來(lái)最備受矚目。
未來(lái)半自駕或全自駕車(chē)輛的安全需要傳統(tǒng)攝影鏡頭、雷達(dá)、光達(dá)等多個(gè)感測(cè)器集大成,而光達(dá)具有高解析度、高精確度、高量測(cè)距離等優(yōu)點(diǎn),能在不同情境下辨識(shí)障礙物、預(yù)防碰撞、即時(shí)偵測(cè)路況、防止車(chē)道偏移等以提高安全性。此外值得注意的是,位居全球自駕車(chē)領(lǐng)先地位的Tesla,過(guò)去擁護(hù)傳統(tǒng)攝影鏡頭,近期屢傳將擁抱光達(dá)技術(shù)的消息;且根據(jù)IDTechEx研究分析,全球光達(dá)市場(chǎng)至2030年將成長(zhǎng)至54億美元,成為自駕車(chē)與輔助駕駛最炙手可熱的感測(cè)技術(shù)。
IHS Markit在比利時(shí)舉行的AutoSens 2019車(chē)用感知技術(shù)大會(huì)曾表示,LiDAR供應(yīng)商未來(lái)可以宣傳的是光達(dá)帶來(lái)的物理優(yōu)勢(shì),但能否真正商業(yè)化,才是決定因素。光程研創(chuàng)已成功在CMOS製程上實(shí)現(xiàn)SWIR波段3D感測(cè)技術(shù)并成功導(dǎo)入量產(chǎn),能提供功能全面,且成本更具競(jìng)爭(zhēng)力的光達(dá)技術(shù)給全球汽車(chē)產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈客戶,如現(xiàn)有指標(biāo)品牌客戶Continental,以領(lǐng)先世界的精淮感知技術(shù)突破自駕車(chē)發(fā)展現(xiàn)有瓶頸,并以強(qiáng)化的運(yùn)算分析來(lái)提高機(jī)器可視效能與可靠度,滿足自駕車(chē)及輔助駕駛最重要的安全需求。此外,光程研創(chuàng)的光達(dá)技術(shù)同時(shí)也能幫助客戶推動(dòng)更親民的光達(dá)產(chǎn)品價(jià)格,完善自駕車(chē)體系之『眼』的一環(huán),讓安全的自駕系統(tǒng)不再只是高價(jià)車(chē)款的專屬配備,而能真正全面地走入人們?nèi)粘I钪小?/p>