puddle式顯影有什么優(yōu)勢？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：顯影有幾種方式？puddle式的顯影是什么樣的？有什么優(yōu)勢？

顯影的三種主流方式？

一般分為puddle式，浸泡式，噴灑式顯影。

浸泡式：將整個晶圓完全浸入顯影液?？梢酝ㄟ^晃動，攪拌等方式來提升顯影的均勻性和顯影速率。此方式多以手動為主，常見于實驗室。

噴灑式：將顯影液通過噴霧的方式均勻地噴灑到晶圓表面，下方的晶圓以一定的轉速旋轉。旋轉的離心力，使新鮮顯影液不斷流經(jīng)整個晶圓表面。

puddle式：

1，顯影液噴灑在晶圓表面，晶圓緩慢轉動，使整個晶圓都覆蓋完全顯影液。

2，使光刻膠與顯影液反應充分。

3，增加晶圓轉速，將晶圓表面的顯影液甩掉

4，重復步驟1，2，3，直至顯影反應完全。

5，噴灑超純水，甩干

puddle顯影的優(yōu)勢？

1，減少顯影液浪費。上文提到的浸泡式顯影，浪費巨大。

2，適合厚膠顯影。具有很高的顯影效率和光刻膠圖形形貌垂直度。

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