勻膠轉速過大為什么會造成光刻膠條紋？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術社區(qū)，星球號：63559049）里的學員問：勻膠后發(fā)現晶圓表面出現很多條紋，什么原因導致的？有什么解決思路？

為什么會出現光刻膠條紋？

光刻膠條紋的出現最根本原因是膠面的不平整，均勻性不好，有的部位膠比較厚有的部位膠比較薄，以條紋狀的形式分布。這種原因是由于勻膠的轉速過大導致的。

轉速過大為什么會造成勻膠的均勻性差？

光刻膠在高速旋轉時，上方的空氣流動對于勻膠的均勻性影響很大。氣流分為層流與湍流，用雷諾數表示：

Re為雷諾數，?ω 是襯底的角速度（rad/s），r 是襯底的半徑（m），而 v 是空氣的運動粘度。通常，空氣的運動粘度在標準大氣壓下和室溫（約20°C）時大約是1.56×10-5m2/s。從公式可以看出，晶圓尺寸越大，轉速越快，晶圓上方流體的雷諾數越大。根據經驗，當雷諾數Re大于302000時，會被認為是過度湍流，過度湍流會造成蒸發(fā)速率不均勻使得溶劑在某些區(qū)域的蒸發(fā)速度比其他區(qū)域快，形成條紋。因此，旋轉速度不能過高。

另外，高轉速會造成震動過大，加劇勻膠的不穩(wěn)定性。

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