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AMEYA360分析蔡司用于亞10納米級應(yīng)用的離子束顯微鏡

2023/07/15
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蔡司用于亞10納米級應(yīng)用的離子束顯微鏡ORION NanoFab,集 3 種聚焦離子束于一身的顯微鏡,可以實現(xiàn)亞 10 nm 結(jié)構(gòu)的超高精度加工快速、精準(zhǔn)的亞 10 納米結(jié)構(gòu)加工。借助 ORION NanoFab 顯微鏡可在鎵、氖及氦離子束之間實現(xiàn)無縫切換。

產(chǎn)品特點:

快速亞 10 nm 結(jié)構(gòu)加工

使用氖和氦離子束加工有超高精度要求的精細(xì)亞 10 納米結(jié)構(gòu)。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術(shù)刻蝕材料,在亞 10nm 加工應(yīng)用中 ORION NanoFab 均表現(xiàn)不凡。

集三種離子束顯微技術(shù)于一體

使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準(zhǔn)的氖離子束快速完成微加工,利用氦離子束加工精細(xì)的亞 10 納米級結(jié)構(gòu)。利用氦和氖離子還可以防止傳統(tǒng) FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質(zhì)變化。

高分辨率成像

借助 0.5 納米成像分辨率,它可在同一臺加工儀器中實現(xiàn)樣品的高分辨率成像。與使用場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)成像相比,其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細(xì)節(jié)

ORION NanoFab 集鎵、氖、氦三種離子束于一身,是能實現(xiàn)從微米到納米微加工的先進(jìn)成像加工系統(tǒng)。

文章來源:http://www.ameya360.com/hangye/109413.html,如有侵權(quán)請聯(lián)系刪除!

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