IWAPS 2023 | 第七屆國際先進光刻技術研討會舉辦時間通知

第七屆國際先進光刻技術研討會

（IWAPS 2023）

近年來，集成電路產業(yè)已經成為世界各國越來越重視的戰(zhàn)略性產業(yè)，尤其在中國，集成電路產業(yè)受到了前所未有的關注，并在政策和資本的推動下獲得了蓬勃發(fā)展?；谶@樣的形勢，國際先進光刻技術研討會(International Workshop on Advanced Patterning Solutions, IWAPS)應運而生。IWAPS為來自國內外半導體工業(yè)界、學術界的資深技術專家和優(yōu)秀研究人員等提供了一個技術交流平臺，參會者可以就材料、設備、工藝、測量、計算光刻和設計優(yōu)化等主題分享各自的研究成果，探討圖形化解決方案，研討即將面臨的技術挑戰(zhàn)。

自2017年以來，IWAPS已經在全國各地成功舉辦六屆。會議投稿、會議報告與參會人數(shù)逐年增加，行業(yè)反響熱烈，業(yè)已成為國內高端光刻技術領域的重要會議。此外，IWAPS自2020年起已被IEEE收錄，接收論文將被送檢IEEE Xplore與EI。歡迎大家踴躍報名、投稿！

第七屆IWAPS將于2023年10月26-27日于浙江麗水舉行

歡迎各位學術和產業(yè)屆的朋友蒞臨指導，積極投稿演講

參會名額有限，有意者請及時報名參會

官網報名鏈接：

https://www.iwaps.org/cn/index/10

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往屆精彩回顧

IWAPS 2017 北京

IWAPS 2018 廈門

IWAPS 2019 南京

IWAPS 2020 成都

IWAPS 2021 佛山

IWAPS 2022 北京 線上

征稿范圍

i. Optical Lithography

ii. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography

iii. Advanced Patterning Technologies

iv. Metrology, Inspection and Testing

v. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability

vi. Materials

vii. Process

往年論文集

IWAPS 2020：

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding

IWAPS 2021：https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding

IWAPS 2022:

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding

IWAPS 2023 會議籌備工作已經展開

更多信息，敬請關注會議官網

www.iwaps.org/cn

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